沈阳宇杰真空设备有限公司
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YJ-ZF350A高真空单室热蒸发系统
◆设备用途
该系统为高真空多功能离子束沉积系统， 系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、 合金、 化合物、 半导体、 介质复合膜等。 广泛应用于大专院校、 科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
◆设备组成
系统主要由沉积室、 考夫曼溅射离子源、 考夫曼清洗辅助离子源、 样品台、 样品加热装置、膜厚监测系统、 泵抽系统、 真空测量系统、 气路系统、 电控系统等组成。
◆技术指标
真空：极限真空6*10 -5 帕; 工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
配有3个金属蒸发源和3个有机蒸发源
配有3个膜厚探头，膜厚仪进口与国产可选
