离子束溅射系统

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磁控溅射技术是常用的!

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磁控溅射技术是常用的!

发布日期:2022-05-31 作者: 点击:

磁控溅射技术是常用的!

磁控溅射技术是常用的一种物理气相沉积技术。磁控溅射镀膜机可用于制备金属、半导体、绝缘体等多种薄膜材料,具有设备成熟、易于控制、镀膜面积大、附着力强等优点,因此被广泛使用。磁控溅射镀膜仪厂家带你了解更多!

可见光波段:阴极发射的电子电离介质气体分子,分子/原子光谱。这些光密度不大,不至于刺伤钛合金狗眼. 属于无害辐射。

不可见光波段:阴极发射的电子电离介质气体分子,红外/紫外,分子/原子光谱。

小型磁控溅射镀膜系统适合于快速溅射镀膜科研、教学与小批量打样,可快速、低成本的制备多种微纳米厚度的膜层。 

磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极,利用氩离子轰击靶材,产生阴极溅射,把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术。


双室磁控溅射系统


是将涂层材料做为靶阴极,利用氩离子轰击靶材,产生阴极溅射,把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术,涂层材料一直保持固态,不形成熔池。

由于磁控溅射铁磁性靶材的难点是靶材表面的磁场达不到正常磁控溅射时要求的磁场强度,因此解决的思路是增加铁磁性靶材表面剩磁的强度,以达到正常溅射工作对靶材表面磁场大小的要求。

将铁磁性靶材的厚度减薄是解决磁控溅射铁磁材料靶材的常见方法。如果铁磁性靶材足够薄,则其不能完全屏蔽磁场,一部分磁通将靶材饱和,其余的磁通将从靶材表面通过,达到磁控溅射的要求。

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