沈阳宇杰真空设备有限公司
电话:13555776988
网址:www.syyjzk.com
淘宝店铺:https://shop311771663.taobao.com
地址:辽宁省沈阳市沈河区泉园街道
DZS-500电子束蒸发设备
◆设备用途
可用于Au, Ni, Ag, Ti, Al, Cr和Mo等金属以及氧化物(ITO等)在基片上均匀沉积多层膜
◆设备组成
系统主要由沉积室、 考夫曼溅射离子源、 考夫曼清洗辅助离子源、 样品台、 样品加热装置、膜厚监测系统、 泵抽系统、 真空测量系统、 气路系统、 电控系统等组成。
◆技术指标
极限真空度: 6.6x10-5 Pa
膜厚均匀性: ≤ ±5%
样品最大尺寸:8英寸晶圆
转速: 3–30 rpm/m
样品加热温度:室温~300°C
温度均匀性:≤ ±10°C