哈尔滨工业大学

采购时间：2018年10月12日

设备名称：DZS-500S双室电子束与蒸发联合系统

技术指标：

一、电子束系统的主要组成及技术指标

1、极限真空度：≤8.0×10-5Pa (经烘烤除气后)；

2、系统真空检漏漏率：≤5.0×10-8Pa.L/S；停机12小时≤5Pa.

3、系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.6×10-4Pa；

4、系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成；

1、真空室组件：1套

真空室为U型箱体活开门结构，尺寸为500mm×500mm×600mm，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光电解处理，接口采用金属无氧铜垫圈密封或氟橡胶圈密封；

真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：

1.1、RF200法兰接口：1个（接旋转基片加热台组件）；

1.2、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；

1.3、CF16法兰接口：1个（进气接口）；

1.4、CF200法兰接口：1个（接分子泵）；

1.5、CF35法兰接口：5个(接电离规管、膜厚仪、旁抽角阀、2个备用)；

1.6、CF16法兰接口：8个（进气接口、烘烤照明、充气阀、蒸发电极挡板直接转轴）；

1.7、ZC16法兰接口：1个(接低真空规管)；

2、旋转基片加热台：1套 

2.1、基片尺寸：可放置5″基片；

2.2、基片加热最高温度600°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；

2.3、基片可连续回转，转速5～60转/分，电机驱动磁耦合机构控制；

2.4、手动控制样品挡板组件：1套；

2.5、样品托：2个；                                        

3、电子枪及电源：1套 

3.1、270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率0—8 KW可调（成都兴南）；

3.2、电子枪阳极电压：6kv、8kv；

3.3、电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15mm（X，Y），备有遥控盒，可手持遥控操作扫描；

3.4、水冷式坩埚：六穴坩埚，每个容量约为11ml，电动切换；单穴尺寸：Φ30mm ×Φ22mm ×22mm（圆台型）；

3.5、可控制坩埚位置变化；

3.6、由手动驱动坩埚挡板；  

3.7、具有高压灭弧自动复位功能； 

4、石英晶体振荡膜厚监控仪（上海泰尧）：1套 

4.1、监测膜厚显示范围：0~99μ9999Å；

4.2、厚度分辨率：1Å；

4.3、速率显示分辨率：0~9999.9 Å；

4.4、控制精度：1 Å；

4.5、监测时间显示范围：1分~99小时；

5、工作气路：2路

5.1、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路（北京）

5.2、管路、接头等：1路；

5.3、充气阀D6、管路、接头等：1路（充入氮气或大气）；

6、抽气机组及阀门、管道：1套

6.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒，北京KYKY）；    

6.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，飞越）； 

6.3、KF40电磁压差阀：1台（上海）；

6.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；

6.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ；

6.6、CF200-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；

7、窗口及法兰接口部件：1套

7.1、RF100磁力旋转观察窗挡板：1个；

7.2、CF16陶瓷封接两芯引线法兰：2个（照明及内烘烤引线、备用引线）；

7.3、盲法兰CF16：2个；CF35：2个；

7.4、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）；

8、安装机台架组件：1套

优质方钢铝型材，机台表面用不锈钢蒙皮装饰，四只脚轮，可固定，可移动；

9、真空测量及电控系统：1套

9.1、电源机柜：1台（含供电电源，有断电保护功能）；

9.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀等提供电源）；

9.3、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）；

9.4、电机控制电源：1套；

9.5、加热烘烤及照明电源：1套；

9.6、电阻蒸发电源：1套；

9.7、宽量程数显真空计ZDF-5227（成都）：1套；测量范围：（1.0x10 5Pa～1.0x10-5Pa）； 

9.8、E型电子枪电源：1套：(成都)

9.9、200SCCM质量流量显示器：1套；

9.10、分子泵控制电源：1套；

10、备件：1套

10.1、无氧铜密封垫圈及管路

CF16:3个；CF35:2个； CF200:2个；￠6mm卡套:4套； 

10.2、氟橡胶圈：￠200mm：1个；￠100mm：4个；

10.3、石英晶震片：10个；

10.4、碘钨灯：2个；

10.5、样品加热丝：1套；

10.6、￠100mm铅玻璃：1块；

10.7、电子枪灯丝：10个；

10.8、热蒸发坩锅：2个；

10.9、不锈钢标件：M3、M4各3个；

10.10、电器相关的保险丝：各5个。

二、热蒸发系统的主要组成及技术指标

该系统为单室圆形上翻盖结构三源无机热蒸发系统，主要用来生长金属薄膜的研究工作，具体如下：

1.1系统采用单室圆形上翻盖结构。

1.2样品尺寸：直径120mm，样品托；

1.3生长室放置3个热阻蒸发舟，配备蒸发电源1套，蒸发电源带转接功能。

1.4真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。

2、系统的主要组成及技术性能

2.1、真空室腔体组件：1套

真空室腔体组件尺寸：圆型立式真空室，尺寸约为Φ350×H475，真空室设计采用高真空设计，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用喷玻璃丸+化学电解抛光钝化处理新工艺。

左侧开CF150刀口，放置CF150闸板阀与电子束室相连，前面配有观察窗，后面配有照明灯，右侧留CF35口放置磁力传递杆，实现两室相互交接。

真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：

2.1.1、真空室上封头法兰接口：1个（接样品组件）；

2.1.2、CF150法兰接口：1个（分子泵接口，两室共用一个分子泵）；

2.1.3、CF35法兰接口：6个（接高真空电离规管、膜厚仪、旁抽、烘烤照明等）；

2.1.4、CF16法兰接口：2个（充气管路、放气管路）；

2.1.5、KF16法兰接口：1个（接低真空电阻规管）；

2.1.6、门板有1个RF100带玻璃挡板观察窗。

2.1.7、热阻蒸发电极接口： 3套，无机水冷电极；

2.1.8、蒸发源挡板接口：2个，手动；

3.1、电阻蒸发源：1套 

3.1.1、蒸发水冷电极3根，组成2组蒸发舟，蒸发控制电源两套，其中一套可相互切换，蒸发电源电压5-10V，电流300A，最大输出功率3Kw；

3.1.2、蒸发源手动控制挡板：2套； 

4.1、样品台：1套

4.1.1 基片尺寸：120mm基片托，。

5.1、清洗离子源：1套

5.11、清洗样品离子源：

6.1、真空本底抽气与真空测量：1套

6.1.1、放气阀及充气阀： 2只 （沈阳） 用于真空室解除及真空充气使用。

6.1.2、其它阀门：CF35旁抽角阀 1个（沈阳） DN40电磁截止阀（川北）1个

7.1、真空室照明装置：1套

8.1、真空室预留检漏口和预留备用口若干：1套