深圳大学

采购时间：2018年6月22日

设备名称：YJ-ZF350A高真空单室热蒸发系统

技术指标：

．系统概况

该系统为单室圆形上翻盖结构三源无机热蒸发系统，主要用来生长金属薄膜的研究工作，具体如下：

1、系统采用单室圆形上翻盖结构。

2、样品片台可旋转，0～30转／分 连续可调。

3、样品尺寸：直径100mm，样品托；

4、生长室预留2个可配备石英晶振探头安装口；

5、生长室放置3个热阻蒸发舟，配备蒸发电源2套，蒸发电源带转接功能即一个蒸发电源可以通过转接控制两个热阻蒸发舟，可实现两源共蒸。

6、生长室真空获得系统采用国产分子泵（600L/S）+机械泵（TRP-36 8L/S）进行抽气；配有旁抽管路，提高单机效率。

7、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。

二、系统的主要组成及技术性能

生长室极限真空度≤8×10-5 Pa；抽速：40分钟可达到8×10-4 Pa

1、真空室腔体组件：1套

真空室腔体组件尺寸：圆型立式真空室，尺寸约为Φ350×H475，D型前开门结构，真空室设计采用高真空设计，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用喷玻璃丸+化学电解抛光钝化处理新工艺。

真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：

1、真空室上封头法兰接口：1个（接样品组件）；

2、CF150法兰接口：1个（分子泵接口）；

3、CF35法兰接口：6个（接高真空电离规管、膜厚仪、旁抽、烘烤照明等）；

4、CF16法兰接口：4个（进气管路、充气阀、1个备用）；

5、KF16法兰接口：1个(接低真空电阻规管)；

6、KF40法兰接口：1个(接旁抽管路)；

7、门板有1个RF100带玻璃挡板观察窗。

8、热阻蒸发电极接口： 3套无机水冷电极；

9.蒸发源挡板接口:3个手动；

2、热阻蒸发舟及电源：2套

热阻蒸发电源2台(功率3.5kw)，手动切换满足3支蒸发舟蒸发要求；

热阻蒸发器根据蒸发材料配套（钨舟、钽舟、钼舟）；

蒸发源挡板：3套手动控制。

3、样品台：1套

3.1 基片尺寸：100mm基片托，蒸发距离220mm-300mm可调

4、真空本底抽气与真空测量：-1套

4.1、复合分子泵：FF-600分子泵（北京）1套

4.2、机械泵与电磁阀： 抽速8升∕秒（飞越） 1套

4.3、分子泵与机械泵连接的金属软管：（沈阳） 1套

4.4、复合数显真空测量规与计(睿宝ZDF-5227)： 1套

热偶规：（KF16快卸法兰） 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa    1只

电离规：（CF35刀口法兰） 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa    1只

4.5、放气阀及充气阀： 2只 （沈阳） 用于真空室解除及真空充气使用

4.6、CF150手动插板阀：（北京川北）用于隔断分子泵与生长室

4.7、其它阀门：CF35旁抽角阀 1个（沈阳） DN40电磁截止阀（帕纳）1个

5、电控与电源：1套

5.1、总控电源及样品转动电源：，0～30转／分 连续可调。1套

6、真空室照明装置：1套

7、真空室预留检漏口和预留备用口若干：1套